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矽晶圓薄化與平坦化加工研究__臺灣博碩士論文知識加值系統

目前太陽能電池矽晶圓大多數是使用刀鋸或鋼線配合磨粒的方式進行切割，本文先介紹這類切割設備，再提出創新之製程方法－利用放電原理進行多晶矽晶圓材料之切削。

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