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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊

矽晶棒再經過切割、研磨、拋光、切片等加工製程，即可成為. 積體電路產業之重要原料－「矽晶圓」。 民國85 年以前，我國積體電路製造業的矽晶圓材料供應源，百分之百完全.

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