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摘要

質單層薄膜晶圓之拋光平坦化之分析方法，塑性能之計算方法，對薄膜晶圓進行 ... 5.1.4 薄膜晶圓之塑性能計算結果. ... 百奈米，可應用於晶圓切割、研磨及拋光上。

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