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晶格方向

蝕刻幾何形狀將沿著(111)晶面被切割 ... 晶圓方向. ▫ {100}晶圓的蝕刻夾角. >{111}與{110}方向的夾角 ... {110}晶圓上不同角度矩形槽與蝕刻斷面的關係.

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