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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊

晶圓 加工製程之切片作業在於將矽單晶棒切成矽晶圓薄片，晶圓切割過程. 係利用線切割機（Wire ... 廠務部門之全年監測平均值乘以廢水總量，來計算全年各類水污染物之排.

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