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疊對量測不確定度評估 - 工業技術研究院

影疊對量測機台Caliper，每種圖樣量測五個field，計算其重覆量測精密度與TIS，Fig 5. 為晶圓圖樣；另外設計OMF 的量測圖樣，在每個field 內放置9×9 個Bar-in-bar 圖樣 ...

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