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晶圓切割的方法 與 介紹
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鉅大光電科技股份有限公司- 雷射切割晶圓
利用精細的紫外光雷射在硬脆材料的晶圓上沿著切割道劃出高深寬比的切割線, 旭丞光電之UV雷射切割技術可直接從玻璃表面切穿直至矽晶片,因此晶粒分離後表面之玻璃合併 ...
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