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晶圓切割的方法 與 介紹
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如何將晶圓切割成晶片?
在切割晶圓板之前,首先削去晶圓版的裡面部分(裡面研削)使成更薄的晶圓板,若不經這一研削作業,則將因為厚度太厚而不易切割,且在製成IC之後矽基板的 ...
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