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晶圓檢測- 線上控制

不同的晶圓厚度範圍、不同的晶圓原材料以及苛刻的線上製程環境（例如，由於研磨液而無法清楚地看到晶圓）均是測量技術的挑戰。 ... 同時還應檢測切割槽，確認是否有晶粒裂痕 ...

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