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晶圓切割的方法 與 介紹
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DBG(Dicing Before Grinding)製程 - DISCO Corporation
DBG就是將原來的「背面研磨→切割晶片」的製程程序進行逆向操作,先對晶片進行半切割加工,然後利用背面研磨使晶片分割成晶粒的技術。經通運用該技術,能有效地抑制分割 ...
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