並且驗證足以穿透散射的晶圓切割膜以及矽基材檢查晶片微裂特徵影像;本技術可應用於晶圓切割製程後晶片微裂特徵自動化光學檢查設備。 ResearchGate Logo. Discover the ...
確定! 回上一頁