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多晶矽太陽能晶圓之微裂紋檢測中文摘要 - CHUR

除此之外，也必須檢查矽晶圓的邊緣是否含有掉屑或. 裂痕的情形。瑕疵產生的原因有許多，Hayafuji 等人[6]發現在進行雷射切割時，. 可能會在晶圓深層產生 ...

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