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晶圓切割原理
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關鍵詞 - 工業技術研究院
目前太陽能電池矽晶圓. 大多數是使用刀鋸或鋼線配合磨粒的方式進行切. 割,本文先介紹這類切割設備,再提出創新之製. 程方法-利用放電原理進行多晶矽晶圓材料之切.
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