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晶圓切割原理
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http://ir.lib.kuas.edu.tw/bitstream/987654321/8859/2/18133851-200803-5-1-10-20-a.pdf
外圓切割刀暫/穩態磨耗與晶體崩裂之探討
本研究目的在探討外圓鑽石切割刀切削晶圓在暫穩態磨耗中對晶圓崩裂及切割刀本身 ... 互鎖理論來解說摩擦生成的原理,而黏附原理即表示表面凹凸起伏中途起部分的接觸,造.
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