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循環矽材–碳化矽之開發 - 材料世界網

身為全球半導體生產大國，一個月產生的矽晶圓廢料超過5000噸。 ... 晶矽製作切割下來的邊角料(圖六)，其純度較高，可透過各階段的純化流程，如：移除…

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