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晶圓再生| SEIREN KST株式會社

例如，一般再生的方法為進行研磨處理來去除破壞層，但對於光阻的成膜測試等表面損傷較少的晶圓來說，不使用研磨處理而使用化學再生較為有效。 雖然跟研磨再生比起來， ...

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