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晶圓再生流程
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先進製程推動再生晶圓需求 - 台股產業研究室
而隨著晶圓廠制程的推進, 基於精度要求及良率的考量, 需要在生產過程中增加監控頻率. 65nm制程的晶圓代工廠每10片正片需要加 6片擋控片, 28nm及以下的制程 ...
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