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矽晶向對於高通量氫離子佈植技術製作絕緣體上矽材料之影響研究

研究以離子劈裂技術製作絕緣體上矽的先進課題，以高通量氫離子佈植於晶向（111）與（100）的矽晶圓，成功製成絕緣體上矽材料；並針對兩種不同晶向基材的微結構與特性 ...

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