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整合資料探勘與時間序列之半導體零件變異預測模型

因此，本研究應用資料探勘技術來結合無感測器偵測所導致的晶圓缺陷特徵與其晶圓量測資料，據以建構一套晶圓缺陷偵測模型，並整合時間序列模型以預測 ...

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