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TW202134663A - 空間轉換器、探針卡及其製造方法

所提出的空間轉換器與探針卡適用於探測晶圓，所述晶圓包含多個晶粒，各晶粒可與積體電路載板封裝成積體電路晶片， ... Application filed by 旺矽科技股份有限公司.

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