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【日本專家】極致EUV微影微細化用光阻劑材料開發研討會

日本 EIDEC國家計畫(全名：極紫外光微影基礎設施研發中心)，主要與日廠合作的研發中心。曾經於2015年開發出新型光阻劑，加速10奈米製程進展的重大突破。

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