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鎧俠、DNP與佳能合作研發15奈米以下NIL技術 - 電子時報

日廠鎧俠(Kioxia)、佳能(Canon)、大日本印刷(DNP)正在合作研發奈米壓印微影技術(NIL)的量產技術， ... 比起目前已實用化的極紫外光(EUV)半導體製程細微.

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