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罗茨型干泵｜真空泵（高真空）的基础知识

干泵是一种在真空室中不使用油或液体的机械真空泵。 在FPD、电子、半导体产业等领域 ... 转子间，以及转子和壳体间不会接触，保持微小的间隙旋转，对气体进行压缩和输送。

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