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晶片表面覆蓋之光阻厚度的分析與研究 - 應用統計學系
在半導體製造前段的微影(Lithography)製程部分,需用旋轉塗佈機來將光阻覆蓋在高速旋轉的晶片表面,為了使光上圖案轉移有更好的精確度與可靠度,所以其中所覆蓋之光阻 ...
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