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旋轉塗佈機
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旋轉塗佈手指狀不穩定之控制研究成果報告(精簡版)
二、研究目的. 設計一組旋轉塗佈機台,將. 旋轉軸中央挖孔,一種是將蜂鳴. 器安置於轉盤中央,以彈簧將蜂. 鳴器向上頂起,使蜂鳴器緊貼於. 晶圓底面,晶圓則黏貼於轉盤.
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