旋轉塗佈機 Spin Coater ... 利用離心力將光阻或奈米顆粒均勻塗佈到試片(左圖)。控制旋轉速(RPM)及旋轉時間以達到預期的薄膜厚度. 或均勻性。 圖:塗佈後的單層高分子球 ...
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