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第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏
旋轉塗佈機 Spin coater. 將基板使用抽真空方式吸住後,將欲進行旋轉塗佈成膜之液體完整塗佈於基板上,使基. 板旋轉利用離心力可甩出多餘液體並成一薄膜,藉由控制轉速 ...
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