1. 轉速:280~8500 RPM 直流無刷馬達2. 塗佈範圍:Wafer基板φ150mm(6吋)以下,可選配能塗佈25um銅箔旋轉頭3. 轉速設定:2段轉速旋鈕調整(可調式)4. 不鏽鋼旋轉內槽φ160mm, ...
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