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方位角掃描技術沉積鋁奈米柱陣列

本論文利用斜向沉積技術配合方位角掃描技術製鍍非均向性鋁奈米斜柱陣列薄膜，基板隨著垂直於基板法線方向來回擺動藉此影響自我遮蔽效應的方向性，來改善斜柱結構在垂直 ...

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