首先我們利用套裝軟體ANSYS來模擬分析鑽石刀具刻劃硬脆材料時矽晶圓之破裂情形。 ... 矽的金鋼石結構 6 圖2.2矽的(100)、(110)、(111)結晶面 7 圖2.3犁平機制示意圖 11 ...
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