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壓電薄膜加速度微感測元件之製程規劃與研究 - 國立高雄科技大學

在矽晶圓（Silicon wafer）上製作出三次元的微 ... 構幾何形狀需配合晶格方向，若所需結構為一凸 ... 矽晶圓上，沿著主切. 邊<110>方向所定義之方形島塊圖形，在浸入非.

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