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【半导体先进工艺制程技术系列】应变硅工艺技术 - CSDN

研究发现，当张应力作用于NMOS在<100>或者<110>晶向的沟道上，NMOS的速度随着应力 ... 硅的晶格常数是5.431Å，碳的晶格常数是3.57Å，硅与碳的不匹配率 ...

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