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先進CMOS 元件及製程研究--總計畫(3/3) 研究成果報告(完整版)

得在鍺(110)面上生成的鎳鍺化合物的電阻會高 ... resistance was so higher on the n-Ge (110) than on ... 而矽晶圓跟二氧化矽材料存在著晶格常數不匹.

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