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鎳金屬誘發複晶矽側向成長的機制探討

我們以[110] 軸向去觀察，由於. NiSi2 (111) / Si (111) 的晶格常數相當接近，所以界. 面相當平整，沒有垂直界面的插排產生，這些結果. 都與MILC 結晶機制的理論模型相符合 ...

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