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晶格方向

MEMS Lab. 單晶矽的晶格方向與蝕刻速率. ▫ {110}晶面雖然有三個共價鍵，但因晶面的原子排列鬆散，. 以致蝕刻液對矽原子結構產生穿遂效應(Channeling effect).

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