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ASML - 【ASML｜微影系統的解析度公式——萊利公式】 萊利 ...

也就是說，我們必須將公式中的λ（光源波長）縮小、NA（反射鏡數值孔徑）提高，讓最後得到的CD能夠越來越小。同時，曝光機的內部構造和工作模式的 ...

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