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利用電化學放電加工硼矽玻璃之微流道成形技術研究

其. 中雷射加工受限於加工品質及成本，微超音波則速度慢及加工形狀受限，化學蝕刻. 雖有較高的加工精度但製程複雜且無法製作出較高深寬比元件。相對的ECDM 為. ECM 和EDM ...

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