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擴散製程目的
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IC製程簡介與其他產業應用
明與目的 ... 達到表面平坦化的目的,以利後續製程的進 ... 離子植入法具良好的摻質縱向分佈控制,而熱擴散法離子層的分佈會產生橫向擴張現象。
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