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擴散製程目的
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半導體微波退火設備開發 - 機械工業網
微波退火除了可讓半導體前段製程之摻雜物質達到低溫活化及無擴散的需求外,亦具有多 ... [23],達到低溫退火目的,特別是對半導體五奈米以下製程,可避免摻雜原子擴散 ...
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