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擴散製程目的
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CMOS-MEMS 電容式感測元件與製程平台之研究 - 國立清華 ...
H. Mahfoz等人利用硼擴散與磷擴散製程並配合熱退火的方式來對多晶矽薄膜作 ... 來抬升光學元件,使光學元件能有三維的維度或達到微面鏡自組裝的目的。
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