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氧化與擴散 - Scribd

多晶矽沉積• 擴散– 氮化矽沉積• 退火• 快速加熱製程(RTP) ... 稱之為擴散爐• 早期的半導體工業已廣泛的應用在擴散摻雜的製程 積體電路製程流程材料積體電路生產廠房.

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