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薄膜電晶體液晶顯示器銅製程良率提升之研究
[4]歐耿良、周長彬、吳文發、吳其昌,電漿處理的鉭擴散阻礙層在銅製程的 ... [7]張鼎張、鄭晃忠、楊正杰,銅金屬化製程簡介,國家奈米元件實驗室,奈 ...
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