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碳化矽擋片| 凱樂士股份有限公司- Kallex

在長氧化矽薄膜或擴散製程中，碳化矽擋片常被置放於矽晶圓前端以保護後面的矽晶圓. 碳化矽擋片產品需求特性. 1.耐高溫氣體侵蝕. 2.化學安定性佳.

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