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半導體物理與元件 - 光電工程系- 國立臺北科技大學

微影製程. ✧ 化學氣相沉積製程. ✧ 擴散製程. ✧ 蝕刻製程. ✧ 研磨製程. ✧ 切割製程 ... 前兩項會在後面介紹，而本節將介紹應用電漿製程之.

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