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PVD / CVD薄膜沈積(Thin Film Deposition)www.tool-tool.com

以現今之金屬化製程而言：舉凡Ti、TiW等所謂的反擴散層(Barrier Layer)，或是黏合層(Glue Layer)；Al之栓塞(plug)及導線(Interconnects)連接，以及高溫 ...

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