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國內半導體製造業及光電業之產業現況、 製程廢氣污染來源與 ...

圖6 半導體晶圓封裝流程與廢氣產生. - 10 -. Page 11. 源，圖中的虛線框為產生空氣污染類型之說明，除矽晶圓在. 進入擴散區前的切片程序外，大部份製程都會產生空氣污染.

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