導體薄膜,半導體薄膜及絕緣體薄膜,是構成半導體元件的主要材料. ... 所以濺鍍(Sputter)是現今矽基半導體工業所唯一採用的方式. ... Diffusion – 擴散• 此製程乃利用物質中之 ...
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