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垂直爐管技術資料

2.1.1.2 製程溫度：800～1000℃. 2.1.1.3 製程厚度：25－350Å. 2.1.1.4 製程介紹：. 1. 以Dry Oxidation 所長出的SiO2 將具備較佳的氧化層電性。

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