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微製程概論(IC 及TFT/LCD) - 遠東科技大學

擴散 膜. 中華薄膜 ... 擴散製程一般都是在爐管中進行，在高溫的爐管中放入晶圓，使 ... 光阻介紹. 光阻的作用是要將積體電路結構. 圖形印製在晶圓表面上，其功能.

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