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半導體製程技術導論 - 蝦皮購物

... 章加熱製程125 5.1 簡介126 5.2 加熱製程的硬體設備126 5.3 氧化製程130 5.4 擴散製程150 5.5 退火過程155 5.6 高溫化學氣相沉積159 5.7 快速加熱製程(RTP)系統167 ...

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